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从电荷搬移到混合域累加:TDI-CMOS图像传感器的架构演进

从电荷搬移到混合域累加:TDI-CMOS图像传感器的架构演进 从电荷搬移到混合域累加:TDI-CMOS图像传感器的架构演进摘要时间延迟积分(TDI)技术是高速低照度线扫描成像的核心手段。长期以来,TDI依赖CCD的电荷转移机制实现低噪声累加,但CCD的高功耗与工艺不兼容性促使研究者探索CMOS实现路径。本文系统梳理TDI-CMOS图像传感器的架构演进脉络:从早期模仿CCD的像素内电荷转移方案,到将累加操作移出像素阵列的电压域模拟累加与数字累加架构,再到兼顾灵敏度与灵活性的电荷-数字混合域累加方案。文章重点分析各架构的信噪比特性、速度瓶颈与设计权衡,揭示“电荷域保真累加”与“CMOS电压读出灵活性”之间的核心张力如何驱动架构创新。关键词:时间延迟积分;CMOS图像传感器;电荷域累加;数字累加;混合域累加1 引言时间延迟积分(Time Delay and Integration, TDI)是一种面向相对运动场景的扫描成像技术。其基本原理是:沿扫描方向排列多级像素,目标依次经过各级像素曝光,各级产生的信号同步累加,最终输出一行合成图像。理想情况下,N级TDI可将信号提升N倍,而不相关噪声仅增长√N倍,信噪比(SNR)改善可达√N。这一特性使TDI在低照度、高速扫描场景中具有不可替代的价值,典型应用包括平板显示检测、晶圆缺陷检测、遥感成像与胶片数字化。传统TDI传感器几乎全部基于CCD技术。CCD的物理机制天然适合TDI:光生电荷可以在像素间直接转移,累加在电荷域完成,转移过程本身几乎不引入额外噪声。然而,CCD工艺制造成本高、功耗大,且难以与外围数字电路单片集成。CMOS图像传感器(CIS)凭借低成本、低功耗、高集成度的优势,在消费电子领域全面取代了CCD,但在TDI应用中长期难以替
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