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缺陷化学核心数学模型库
目录
本征点缺陷平衡与扩散模型 (1-20)
杂质-缺陷相互作用模型 (21-40)
扩展缺陷形成演化模型 (41-60)
界面与表面缺陷模型 (61-80)
工艺诱导缺陷与成品率模型 (81-100)
第一章：本征点缺陷平衡与扩散模型
模型编号 | 数学模型 (方程式) | 方程式说明 | 参数说明列表 | 缺陷特征表现 | 在芯片整体工艺中的规避措施及应用方法 | 实施技术 | 应用场景 | 理论基础 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
1.1 | CI0(T)=Nsitesexp(−kBTEIf) | 本征间隙原子热平衡浓度 | CI0:平衡浓度(cm⁻³) |