NESLAB 620000000015 换热式冷水机组型号 STEELHEAD 0是 Thermo Neslab 为 AMATApplied Materials半导体设备定制的一款热流体循环换热系统。该系统采用双回路设计主回路提供恒温流体循环第二回路通过板式换热器利用厂务水进行冷却并配有 6 kW 加热器。产品符合 CE、IBM 安全标准及 EMO 紧急停机规范专为半导体前道制程中的精密温控需求而设计。一、产品应用领域10条半导体干法刻蚀等离子体刻蚀含射频/微波工艺半导体湿法刻蚀半导体干法沉积CVD、SACVD、PVD半导体湿法沉积电化学沉积 ECP半导体离子注入等离子体灰化去胶工艺化学机械平坦化CMP工艺腔室部件温控腔壁、阴极、穹顶、上下电极、吸盘/磁盘臭氧发生器与射频电源冷却清洗槽与电镀槽温控二、核心产品参数5条产品型号STEELHEAD 0料号 620000000015温度范围30℃ 至 85℃冷却能力8 kW 5 GPM电源规格200-208 VAC三相50/60 Hz23/25 A通道配置4 通道每通道 2 GPM结尾综上所述NESLAB 620000000015STEELHEAD 0作为 Thermo Neslab 为 AMAT 半导体设备定制的热流体换热系统凭借其 8 kW 冷却能力、30℃ 至 85℃ 温控范围及 4 通道独立循环设计为刻蚀、沉积、离子注入等关键半导体工艺提供了稳定可靠的温控解决方案